纳米三坐标测量机的误差分析与分离(3)
时间:2010-11-30 16:11来源:南粤论文中心(WWW.NYLW.NET) 作者:杨洪涛 点击:次
[10] 胡鹏浩,卫兵,王继臣,等.新型纳米三坐标测量机结构的动态特性分析[J].重庆大学学报:自然科学版,2006,29(7):26-28.? [11] 刘红忠,赵万华,李涤尘.多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J].光子学报,2002,31(
[10] 胡鹏浩,卫兵,王继臣,等.新型纳米三坐标测量机结构的动态特性分析[J].重庆大学学报:自然科学版,2006,29(7):26-28.?
[11] 刘红忠,赵万华,李涤尘.多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J].光子学报,2002,31(5):593-595.?(责任编辑：南欧)
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